十萬級無塵車間建設施工工藝規(guī)范
十萬級無塵車間建設應嚴格遵循《潔凈廠房設計規(guī)范》(GB50073)及行業(yè)相關標準規(guī)范。設計階段需明確生產工藝流程,合理規(guī)劃潔凈區(qū)域布局,確保滿足ISO 14644標準中ISO 8級潔凈度要求。
一、建筑結構與裝修標準
墻面應采用50mm厚機制彩鋼夾芯板,表面涂層具有抗靜電、耐腐蝕特性。吊頂系統(tǒng)需采用專用潔凈室吊頂板,承載能力不低于150kg/m2。所有陰陽角必須做成圓弧過渡,半徑不小于50mm,便于清潔消毒。
地面選用2mm厚PVC卷材或環(huán)氧自流平,接縫采用熱焊處理。地面系統(tǒng)電阻應控制在1×10^6~1×10^9Ω,坡度設計需確保排水通暢,坡度不小于0.5%。踢腳線應與墻面平齊,高度不小于100mm。
二、空氣凈化系統(tǒng)
采用組合式空氣處理機組,配備初效(G4)、中效(F8)、高效(H13)三級過濾系統(tǒng)。換氣次數不低于25次/小時,新風量比例控制在10%-30%。系統(tǒng)需設置備用機組,確保連續(xù)運行。
采用上述下回的氣流組織形式,高效送風口滿布率不低于20%。回風口應設置在房間下部,距地面高度0.3-0.5m。工作區(qū)斷面風速控制在0.35-0.5m/s,確保氣流均勻分布。
三、電氣與照明系統(tǒng)
配電箱采用密閉型結構,進出線口做密封處理。照明系統(tǒng)照度不低于300lux,均勻度大于0.7。應急照明持續(xù)時間不少于90分鐘,主要通道設置疏散指示標志。
建立獨立的防靜電接地系統(tǒng),接地電阻不大于1Ω。工作臺面表面電阻控制在10^6~10^9Ω,人員配備防靜電服裝和手腕帶。入口處設置離子風機,消除靜電影響。
四、工藝管道系統(tǒng)
各類工藝管道應沿技術夾層或技術夾道敷設,穿墻部位做密封處理。管道標識清晰,不同介質管道采用顏色區(qū)分。管道支架設置間距符合規(guī)范要求,并采取防振措施。
特氣管道采用EP級不銹鋼管,連接方式以自動焊接為主。氣體終端設置應急切斷裝置,配備泄漏檢測報警系統(tǒng)。特氣柜與用氣點距離不超過30米。
五、監(jiān)測與控制系統(tǒng)
設置在線粒子監(jiān)測系統(tǒng),實時顯示潔凈度數據。溫濕度傳感器按每100平方米設置一個測點,數據上傳至中央監(jiān)控系統(tǒng)。壓差傳感器監(jiān)測各區(qū)域壓差梯度,確保壓差不小于5Pa。
采用DDC控制系統(tǒng),實現設備自動啟停和參數調節(jié)。系統(tǒng)具備故障診斷和報警功能,關鍵參數設置歷史數據存儲,保存期限不少于三年。
六、驗收與驗證
驗收測試包括:風量及換氣次數測試、潔凈度測試、溫濕度測試、照度測試、噪聲測試等。所有測試需在靜態(tài)條件下進行,連續(xù)監(jiān)測時間不少于24小時。
潔凈度測試采樣點不少于5個,各點數據均需達標。系統(tǒng)運行穩(wěn)定性測試需持續(xù)72小時,各項參數波動范圍不超過設定值的±10%。
十萬級無塵車間通過規(guī)范化的建設流程和嚴格的質量控制,才能確保無塵車間滿足生產工藝要求,為產品質量提供可靠保障。建議建立完善的維護保養(yǎng)制度,定期進行系統(tǒng)檢測,確保持續(xù)符合潔凈標準。
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